潔凈凈化工程的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。
濕度過高發(fā)生的疑問更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精細(xì)裝置或電路中，就會(huì)導(dǎo)致各種事端。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。潔凈凈化工程要操控溫濕度詳細(xì)有啥辦法？
但是關(guān)于大多數(shù)潔凈空間，為了避免外界污染侵入，需求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的保持通常應(yīng)契合以下準(zhǔn)則：
1.潔凈度等級(jí)高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級(jí)低的空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度等級(jí)高的房間。
3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
壓力差的保持依托新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理含義即是漏泄（或浸透）風(fēng)量經(jīng)過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
關(guān)于亂流潔凈室因?yàn)橹饕靠諝獾南♂屪饔脕頊p輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下請(qǐng)求；
1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間比較，請(qǐng)求速度衰減更快，分散視點(diǎn)更大。
2.吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度通常不宜大干0.2m/s。
更新時(shí)間：2019-06-24
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