潔凈凈化工程的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進(jìn)步，技術(shù)對溫濕度的請求也越來越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈螅瑢ι唐穼⒂形廴?，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。
濕度過高發(fā)生的疑問更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精細(xì)裝置或電路中，就會導(dǎo)致各種事端。相對濕度在50%時易生銹。潔凈凈化工程要操控溫濕度詳細(xì)有啥辦法？
但是關(guān)于大多數(shù)潔凈空間，為了避免外界污染侵入，需求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的保持通常應(yīng)契合以下準(zhǔn)則：
1.潔凈度等級高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級低的空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度等級高的房間。
3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
壓力差的保持依托新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理含義即是漏泄（或浸透）風(fēng)量經(jīng)過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
關(guān)于亂流潔凈室因?yàn)橹饕靠諝獾南♂屪饔脕頊p輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下請求；
1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間比較，請求速度衰減更快，分散視點(diǎn)更大。
2.吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度通常不宜大干0.2m/s。
更新時間：2019-06-24
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